(주)월덱스

Quartz

쿼츠 소재는 고온 안정성, 내화학성, 내식성이 우수하여
반도체, 태양광 등의 산업의 부품 소재로 널리 활용되고 있으며, Quartz-parts는 고순도화된
석영유리 섬유 소재를 기반으로 반도체 전 공정의 식각공정 및 Diffusion 공정에서 사용되는 부품이며,
당사에서 주력하는 Quartz-parts는 주로 식각공정에서 사용되는 부품입니다.
당사의 주력 Quartz-parts는
Ring류(Focus Ring, 2단 Ring), GDP, Bell jar, Cap류 등의 부품들을 취급하고 있습니다.

Quartz Ring

Focus Ring

2단 Ring

Other Ring

제품명	Focus Ring	2단 Ring	Other Ring
제품설명	ESC보호 및 플라즈마 밀도제어	플라즈마의 압력을 제어하는 역할수행	내부 Gas 압력 조절하는 역할수행
적용분야	반도체 Oxide Etch
종류	Inner Focus Ring Top Edge Ring Cover Ring	Shield Ring Combo Ring	Confinement Ring Wap Ring Pressure Control Ring

Quartz Tube, Boat, Others

Quartz Tube

Quartz Boat

Quartz other parts

제품명	Quartz Tube	Quartz Boat	Quartz other parts
제품설명	외부 오염 보호 및 Gas 경로 역할	고온 물질 용해 및 웨이퍼 공정에 이송하기위한 용기역할	GAS 확산용 전극류
적용분야	반도체 전분야	반도체 Dry Etch Diffusion공정	반도체 전분야
종류	Inner Tube Protect Tube Gas feed Tube	Boat Ramco LOT Boat	Quartz G.D.P Shower Plate